Минпромторг планирует реализовать более 20 проектов по программе электронного машиностроения в 2026 году, сообщают “Ведомости”. Среди образцов, которые появятся в следующем году, – установки для одно- и двухстороннего шлифования и полировки полупроводниковых пластин, установки ионно-лучевого травления и распыления, молекулярно-лучевой эпитаксии, получения газов и др. Об этом “Ведомостям” рассказал представитель Минпромторга. Как уточнил он, за 2025 год минимум три компании уже реализовали проекты в рамках программы по электронному машиностроению.
Одно- и двухстороннее шлифование и полировка – промежуточный этап обработки полупроводниковых пластин после резки слитков кремния, они обеспечивают плоскостность и толщинную однородность пластины, объяснила гендиректор холдинга SNDGlobal Ольга Квашенкина. Ионно-лучевое травление и распыление – способы обработки микросхем, с помощью которых формируются сверхтонкие слои на пластине, добавила она.
Поделиться:
